基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法

摘要：

本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍.对硅纳米梁进行了厚度测量,并进行了重复性实验,梁的平均测量度为160.36nm.

关键词：纳机电系统、纳米梁、厚度测量、AFM、弯曲测试

所属期刊栏目：14

分类号：TB16(工程基础科学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划51326020102

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：444-447