基于SU8和PMMA的毛细管电泳芯片制作

摘要：

提出了一种简易的基于SU8和PMMA的电泳芯片的制作方法,研究了PMMA基底上SU8胶微管道的光刻和薄膜微电极的lift-off制作工艺,探讨了PMMA材料特性对薄膜微电极和SU8胶光刻的影响,通过热压方法完成芯片的键合封装,实现了一种快速、高质量的电泳芯片制作工艺,同时与电泳芯片的UV-LIGA工艺具有很好的兼容性.

关键词：SU8、PMMA、毛细管电泳芯片

所属期刊栏目：14

分类号：TB324(工程材料学)

资助基金：王宽诚教育基金;中国科学院知识创新工程项目

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：412-416