氧化镍薄膜气体传感器性能提升

摘要：

本文的目的在于优化甲醛气体传感器.微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材,白金(Pt)被当作微型加热器电阻来加热感测层,并以氧化镍(NiO)薄膜作为感测层.当环境内有甲醛气体存在时,NiO薄膜层上导电度会增加,因而导致感测层电阻值降低.此微传感器,膜厚为0.34μm,在300℃反应时间只需6秒,灵敏度可达13.5 kΩ/ppb,最低侦测限度可以量测到40 ppb. 而本研究中针对不同的甲醛气体浓度,分别添加金当其催化剂、玻璃基材上共溅镀氧化镍与氧化铝、并比较有无指叉电极、改变基材温度…等,以提升其氧化镍薄膜感测性能.

关键词：甲醛、氧化镍薄膜、微传感器

所属期刊栏目：14

分类号：TH308(泵)

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：394-398