基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题

摘要：

复杂微机械系统由多个微机械零件装配而成,与传统金属切削加工技术相同,微机械加工也存在公差,特别是在微机械零件之间存在装配关系时,合理给出零件之间的公差尤其重要.由于微机械加工技术不同于传统金属切削加工技术,其加工公差的确定与标注也不同于传统工艺.本文对基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题进行研究.文中分析了采用LIGA(准LIGA)工艺进行加工的过程中,零件存在加工误差的环节和原因、加工误差产生的规律,以及在特定加工条件下的误差范围,在此基础上,给出了微机械零件尺寸的确定方法.

关键词：LIGA、微机械零件、公差

所属期刊栏目：14

分类号：TJ430.1(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：380-383