一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺

摘要：

开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值.

关键词：同位素微电池、SU8胶、剥离工艺、表面电极

所属期刊栏目：14

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50475153;教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET-04-0266

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：349-352