一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作

摘要：

针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构.引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性.63Ni放射源电镀实验最终得到了一组理想的短路电流和开路电压数据.结果表明,该结构与传统的能量转换结构相比有更稳定的功率输出.

关键词：MEMS、同位素63Ni微电池、平板型能量转换结构、剥离工艺、源活度

所属期刊栏目：14

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划N7HM0006

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：319-322