面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计

摘要：

微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化.本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构.基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%.

关键词：微泵、扩散/收缩泵、扩散/收缩管、鳞片

所属期刊栏目：14

分类号：TP271(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA042336

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：205-209