MEMS微悬臂梁在冲击环境下的可靠性

摘要：

由于MEMS器件的可靠性成为MEMS产品商业化过程中一个重要问题,而冲击断裂是导致器件失效的一个重要原因.本文主要研究多晶硅微悬臂梁在冲击条件下的可靠性,文中阐述了断裂失效机理,并使用应力一强度模型对可靠度进行建模.通过实验统计在各种加速度冲击下的可靠度,并将实验实测值与理论值进行对比.

关键词：MEMS、冲击失效、可靠度

所属期刊栏目：14

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：解放军总装备部预研项目

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：103-106