基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵

摘要：

基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar.

关键词：微机械、微型电磁驱动器、微型泵、集成磁性薄膜

所属期刊栏目：14

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划06593NQ070;吉林省科研项目06443UQ060

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102