MEMS微梁疲劳频率特性测试与分析

摘要：

多晶硅双端固支梁是MEMS器件中最常用的组件之一,它的疲劳特性直接关系到器件的寿命及安全性.本文针对多晶硅微梁结构进行疲劳可靠性测试,在对其施加循环静电激励后,测试了它的频率变化特性.并分析了频率向高频移动的原因,从而说明了梁的疲劳特性.

关键词：MEMS、疲劳、梁、谐振频率

所属期刊栏目：14

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：解放军总装备部预研项目

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：89-92