ZnO基氯气传感元件的制备及其气敏性能

摘要：

以硝酸锌和氨水为反应物,采用沉淀法制备ZnO纳米粉体.通过X射线衍射仪和透射电镜对其进行分析,结果表明,制得的ZnO颗粒为球形,粒径较小,在20nm左右,为六方形纤锌矿结构.通过掺杂In2O3,大大提高元件对氯气的气敏特性.实验表明,该元件对体积分数为20×10-6的氯气,灵敏度可达301,响应时间2秒,恢复时间在110秒左右,具有高选择性.

关键词：氧化锌、氯气传感器、气敏

所属期刊栏目：14

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46