超短脉冲激光烧蚀熔融硅的理论模型

摘要：

在Fokker_P1anck方程的基础上,对超短脉冲激光烧蚀熔融硅的机理进行分析研究,建立了雪崩电离、多光子吸收电离导致的熔融硅烧蚀机理的数学模型.其计算得出的激光能量密度和临界烧蚀阀值与实验结果很好的吻合,定量解释了超短脉冲激光对熔融硅烧蚀损伤微观过程的影响.

关键词：超短脉冲激光、烧蚀、雪崩电离、多光子吸收电离

所属期刊栏目：14

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50275026;江苏省自然科学基金BK2002060

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：38-42