纳米技术时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI

摘要：

本文综述了纳米时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI,并结合介绍了上海微系统所和上海新傲科技有限公司相关的研究工作.

关键词：高端硅基材料、绝缘体上硅(SOI)、绝缘体上应变硅(sSOI)、绝缘体上锗(GOI)

所属期刊栏目：13

分类号：TN304.05(半导体技术)

在线出版日期：2007-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：403-408