硅锗超晶格薄膜界面热传导的分子动力学模拟

摘要：

采用非平衡态分子动力学方法(NEMD)对超晶格薄膜导热系数与界面晶格失配的关系进行了研究,并就晶格失配使导热系数产生极小值的原因进行了分析.模拟是在加温度梯度的系统中进行的,固定周期长度;其中采用热流修正,分层考虑的思想使系统稳定.模拟结果揭示了,当温度固定时,界面处晶格失配对超晶格薄膜热传导性能的下降有贡献.结果中也发现,当失配程度增大到一定值后,热传导系数出现极小值,经初步分析为声子传播模式不同引起.

关键词：超晶格薄膜、导热系数、界面晶格失配、非平衡态、分子动力学

所属期刊栏目：13

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划NCEF-04-0702

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：293-296