不同组分PZT压电薄膜的性能

摘要：

采用sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同条件的锆钛酸铅(PZT)薄膜.分析了不同的前烘温度、不同锆钛比例对PZT薄膜的微观结构和电特性所产生的影响.SEM分析结果显示,铁电薄膜的晶化较完善,薄膜表面均匀致密.用X射线衍射分析了不同条件制备的PZT薄膜,表明薄膜的微观结构和取向不仅对热处理的条件非常敏感,而且也深受薄膜组分的影响.铁电测试表明对PZT(锆/钛=30/70),300℃热处理的薄膜具有最大的自发极化值.而对于不同锆钛比的薄膜,在准同型相界附近的53/47配比的PZT薄膜表现出最好的铁电性、介电性和最高的体电阻率.

关键词：锆钛酸铅、溶胶-凝胶、前烘温度、薄膜组分、电滞回线

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金90207003;60474052

在线出版日期：2007-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：123-128