AlGaN基UV-LED的研究与进展

摘要：

近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注,成为了全球半导体领域研究和投资的新热点.本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题,对UVLED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍,并展望了未来发展方向.

关键词：UV-LED、AlGaN、AlInGaN、综述

所属期刊栏目：13

分类号：TN304.2;O475(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2004AA311040

在线出版日期：2007-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：95-100