大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能

摘要：

通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300 mm×400 mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1 μm左右.用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好.

关键词：CdTe薄膜、近空间升华法、大面积

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分类号：TM914.4;TN304.2+5

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA513010;高等学校博士学科点专项科研项目20050610024

在线出版日期：2007-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：68-72