化学表面处理对微型化的氮氧化硅驻极体层电荷储存性能的影响

摘要：

研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响,考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用.借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比,研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其动态特性的影响.

关键词：氮氧化硅驻极体、表面处理、微型化、电荷稳定性及其动态特性

所属期刊栏目：13

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50503018;中-德合作项目Ref.1/77365

在线出版日期：2007-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17