银离子掺杂TiO2薄膜的物理性能研究

摘要：

不同剂量的银离子被注入到采用反应磁控溅射(RMS)制备出的TiO2薄膜中.实验发现,薄膜的成分以二氧化钛和单质银为主,薄膜中可以看到银的纳米晶颗粒.注入的银离子在薄膜中呈近高斯分布,分布峰随注入剂量的增加而向表层移动.银离子注入后原本致密平整的TiO2薄膜表面出现了沟壑和晶粒粗化现象,且均方根粗糙度随注入剂量的增加而增加.不同的注入剂量对薄膜的表面能没有明显的影响.

关键词：离子注入、反应磁控溅射、二氧化钛、银、显微结构

所属期刊栏目：12

分类号：TB39(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10405010;教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2007-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：474-478,488