AlN薄膜体声波谐振器研究

摘要：

采用一维Mason模型,研究了体声波谐振器的频率特性,探讨了压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,压电参数d33及压电薄膜与电极的厚度比率对机电耦合系数的影响,同时研究了谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.测量的体声波谐振器频率特性曲线与模拟结果吻合的较好.

关键词：体声波谐振器、Mason模型、压电薄膜、频率特性

所属期刊栏目：12

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：湖北省武汉市科技攻关项目

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：439-442,464