硅微加速度计的建模与仿真

摘要：

根据物体相对运动理论,采用能量法表述了建立硅微加速度计功能组件模型的一般方法,并以Verlog-A为模型编码语言实现了硅微加速度计参数化组件模型.利用这些参数化的功能组件模型,在Saber仿真平台上构建了电容式微加速度计系统级模型,并进行了仿真.频域仿真结果表明系统的谐振频率相对于有限元模态分析结果,计算精度相差在3%以内;时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行复杂机电耦合系统时域行为分析,输出电压仿真结果与实测值相差在7.5%以内.

关键词：MEMS、建模、系统仿真、加速度计

所属期刊栏目：12

分类号：TN402;TH702(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国防科技预研项目41308050102;国防科技预研项目417010105-2

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：399-403