微泵动态模型和虚拟运行

摘要：

虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型.首先分析了微泵的静态模型.以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型.随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量.然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律.最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行,对照实测实验结果,它具有较高的精度.在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化,最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标.

关键词：MEMS、微泵、动态模型、有限元计算、曲线拟合、参数辨识、虚拟运行

所属期刊栏目：12

分类号：TH702(仪器、仪表)

资助基金：高比容电子铝箔的研究开发与应用项目2002AA422200;2002AA404030;科技部科研项目G1999033109;国家自然科学基金60475038;60173061;教育部高校骨干教师资助计划582583;Tianjin Natural Sci. Found023800211

在线出版日期：2006-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：322-328