用于微机电系统的磁流体微泵的研究

摘要：

利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动,成功地设计了磁流体微泵,试验表明:磁流体微泵的输出压力最高达到1180 Pa,输出流量最大可达50μl/min,磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系,但超过一定的转速,输出流量和压力将迅速下降.为微机电系统提供可靠的驱动元件.

关键词：微机电系统、磁流体、微泵、旋转磁场

所属期刊栏目：12

分类号：TB381;TP391.9(工程材料学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划20299030;浙江省科技厅资助项目05C21102

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：251-254