NiTi形状记忆合金薄膜的制备及形变特性

摘要：

研究了适用于微器件的溅射态NiTi形状记忆合金薄膜.讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响.利用薄膜热相变特性制成了微驱动器,观察并分析了该器件的形变特性.结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜制备的驱动器回复率为0.76%.

关键词：NiTi薄膜、形状记忆合金、织构、微驱动器

所属期刊栏目：12

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：上海市应用材料研究与发展基金0315

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：229-232