APCVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其性能研究

摘要：

采用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiCl4)、氧气(O2)氨气(NH3)作为先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜.通过对其进行扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外可见透过光谱(UV-VIS)研究后发现,氮掺杂后在二氧化钛薄膜中引入Ti4O7相,抑制了锐钛矿相向金红石相的转变,光吸收限发生红移,相应从365.8nm红移到了402.6nm,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能.

关键词：光催化性、亲水性、掺氮二氧化钛薄膜、常压化学气相沉积

所属期刊栏目：12

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA320202;中国科学院资助项目50372060

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：187-191