基于p型多孔硅的一维光子晶体的微结构分析

摘要：

经由阳极氧化实现了p型硅基的60周期(120层)反射结构,并在此基础上成功制作了基于一维光子晶体的全反射镜,其中心反射波长位于1.6μm左右,反射率几乎为100%的禁带带宽约为0.25μm.

关键词：光子晶体、全反射镜、阳极氧化、多孔硅

所属期刊栏目：12

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金03ZRl4023;上海市AM基金0409

在线出版日期：2006-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：59-62