微机械面型微加热器的热学分析

摘要：

针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析.分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好.

关键词：微电子机械系统、面型微加热器、热分析

所属期刊栏目：11

分类号：TN37(半导体技术)

在线出版日期：2006-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：466-470,475