基于塞贝克效应的半导体气敏传感器的研制

摘要：

利用塞贝克效应研制成功ZnO半导体气敏传感器.这种新型传感器能够输出0-100mV的直流电压,对于信号的放大与处理将十分方便.在实验中对20×10-6NO2气体进行检测,结果表明:传感器的输出电压(温差电动势),随着待测气体浓度而变化.因此,利用温差电效应制作气敏传感器是一条完全可行的新思路.

关键词：塞贝克效应、气敏传感器、研制

所属期刊栏目：11

分类号：TP212.11(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：386-388