不同衬底上LaNiO3导电氧化物薄膜的制备和研究

摘要：

通过MOD法和快速热处理过程,在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了LaNiO3(LNO)导电氧化物薄膜.经XRD结构分析表明,所制备的LNO薄膜具有纯的钙钛矿结构,并且以(100)方向择优取向.经SEM和AFM分析表明,LNO薄膜具有表面均匀、无裂纹.经标准四探针法测试表明,LNO薄膜具有好的金属特性,其室温电阻率为7.6×10-4Ω·cm.铁电性能测试表明,LNO薄膜可以提高PZT铁电薄膜的剩余极化强度.

关键词：LaNiO3薄膜、快速热处理、钙钛矿结构

所属期刊栏目：11

分类号：TB43;O484(工业通用技术与设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613304;江苏省自然科学基金BK2005039

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：318-322