Nb元素对Ba0.5Sr0.5NbzTi1-zO3薄膜结构与性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备了Ba0.5Sr0.5NbzTi1-zO3薄膜(Nb=0-4.12mol%),采用HPAgilent 429A阻抗分析仪等测试方法研究了微量元素铌对Ba0.5Sr0.5NbzTi1-zO3(BSNT)薄膜介电性能的影响.当Nb分别为0-4.12mol%时,相对介电常数εr降低而介质损耗tanδ均得到了改善,当测试频率为1kHz,tanδ由0.09降低到0.067;居里温度Tm逐渐移向低温;在测试频率2.0-10MHz范围内,εr、tanδ均能表现出较好的频散特性.采用XRD、TEM等测试方法分析了薄膜的结构特征.薄膜为四方钙钛矿晶体结构,但Nb的溶入改变了晶胞参数的c/a比,减小了薄膜的晶粒尺寸,提高了薄膜的致密度.

关键词：SBT薄膜、介电常数、介质损耗、Nb施主掺杂、结构特征

所属期刊栏目：11

分类号：TB383;TQ174(工程材料学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613304

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：308-312