CdZnTe晶体生长用石英管的镀碳工艺研究

摘要：

使用金相显微镜、推力分析仪测试等手段研究了镀碳工艺参数对碳膜的表面形貌、碳膜和石英结合力的影响.获得了一个优化的镀碳工艺参数,即在镀碳温度为950～1100℃,气体流量为4～7ml/h,镀碳时间为6h,冷却时间为12h的条件下得到的碳膜较为均匀,而且和石英结合的较好.使用该工艺条件镀膜的石英管生长出的CdZnTe晶体表面光洁,位错密度低,约为4×104cm-2.

关键词：镀碳、推力分析、CdZnTe晶体

所属期刊栏目：11

分类号：O782;TN304.053(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金10175050;上海市教委资助项目02AK30

在线出版日期：2005-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：255-258