利用纳米ZnO粉制备厚膜气敏传感器的研究

摘要：

以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了ZnO多孔纳米固体,同时用通常的水热法对ZnO纳米粉进行了预处理(预处理ZnO纳米粉).然后,分别以ZnO多孔纳米固体和预处理ZnO纳米粉为原料,制备了厚膜气敏传感器.本征电阻的测试结果表明,这两种厚膜气敏传感器的本征电阻比用未经处理的ZnO纳米粉(以下简称"原料ZnO纳米粉")制备的厚膜气敏传感器大大降低并很快达到稳定状态.有效地改善了器件工作的稳定性.结合对三种传感器的显微结构分析,对出现上述差异的原因进行了讨论.

关键词：ZnO 多孔纳米固体、水热热压、水热处理、气敏传感器、本征电阻

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分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50272036,90101016,90206042;高等学校博士学科点专项科研项目20020422057

在线出版日期：2005-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：241-245