用于紫外光电导探测器的TiO2薄膜研究

摘要：

采用直流反应磁控溅射的方法,制备了TiO2薄膜.用X射线衍射,原子力显微镜(AFM)和紫外-可见光分光光度计分别测试了TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱,采用C/TiO2/ITO三层结构制备了TiO2光电导型紫外探测器,研究了它的光响应.初步实验结果表明:TiO2薄膜在4W的紫光灯辐射下,光电流可达2.1mA,10min的辐射时间内,光电流基本保持稳定,可见TiO2薄膜对紫外光有较高的灵敏度和稳定性,可作为一种良好的紫外光探测材料.

关键词：直流反应磁控溅射、TiO2薄膜、光导型紫外探测器、光响应

所属期刊栏目：11

分类号：TN36(半导体技术)

在线出版日期：2005-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：238-240