Pt浓度对磁控溅射制备Co1-xPtx:C薄膜的影响

摘要：

采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,研究发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt:C薄膜中的Pt浓度有密切关系,在较高Pt浓度的CoPt:C薄膜中观察到垂直各向异性现象.通过改变Pt浓度,可以获得粒子粒径小于10nm、矫顽力可控、高的垂直磁晶各向异性能的薄膜.综合考虑,薄膜的最佳成分为Co47Pt53:C,此时矫顽方达到最大.

关键词：CoPt:C薄膜、Pt浓度、磁性能、磁控溅射

所属期刊栏目：11

分类号：TN305.92;TM271(半导体技术)

资助基金：上海市科技发展基金0215nm030

在线出版日期：2005-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：207-210