用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜光谱响应改性的研究

摘要：

采用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜表面进行氮注入处理来改善纳米TiO2催化剂的光谱响应范围.处理后表面颜色变成微黄色,说明氮离子已注入到TiO2薄膜里;AFM观察处理前后的薄膜,发现表面形貌没有很大改变;紫外-可见光谱分析结果表明,TiO2薄膜催化剂的光谱响应红移了12-18nm;通过不同功率、不同处理时间研究显示,在微波功率为400W、处理60min改性效果最理想.

关键词：ECR氮等离子体、光谱响应、TiO2薄膜、紫外-可见光谱分析、AFM

所属期刊栏目：10

分类号：TB383;TN305.3(工程材料学)

资助基金：广东省自然科学基金31502

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：379-382