一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

摘要：

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率.该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB.

关键词：SOI材料、可调谐光衰减器、双脊型波导

所属期刊栏目：10

分类号：TN491(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：上海市科委资助项目B-27

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：355-358