10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.016
一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关
提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径.在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB.
微电子机械系统、射频开关、共面波导
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TP212(自动化技术及设备)
2004-10-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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