放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究

摘要：

采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹.与单一靶材相比,TbFeCo/Ti复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题,Bi2O3/Cu复合梯度靶材解决了在溅射过程中的散热问题.

关键词：放电等离子烧结、TbFeCo/Ti、Bi2O3/Cu、复合梯度靶材

所属期刊栏目：10

分类号：TM284(电工材料)

资助基金：国家计委稀土办项目

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：318-322