HgCdTe探测器应力的多重晶X射线衍射分析

摘要：

HgCdTe光伏探测器的钝化介质膜应力常常限制其低温性能,利用高分辨率多重晶X射线衍射仪中的三重晶衍射技术和倒易空间作图对钝化介质膜应力进行了表征,发现在较高溅射能量下沉积的钝化膜,由于应力的作用,HgCdTe晶片出现弯曲,并有大量镶嵌结构,而在较低的溅射能量下和热蒸发下沉积的钝化膜,晶面未出现明显弯曲,可获得较低应力的钝化介质层.

关键词：HgCdTe、应力、钝化、三重晶X射线衍射、倒易空间作图

所属期刊栏目：10

分类号：TN304.2(半导体技术)

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：307-312