基于碳纳米管的晶体管及其集成的研究进展

摘要：

基于碳纳米管的场效应晶体管是目前研究的热点,是所有分子电子学器件中最有可能取代MOSFET,并维持摩尔定律的器件.本文对其基本原理、发展状况和重要性进行了简述,着重介绍了目前常用的撒落法和催化剂定位方法制备碳纳米管场效应管的工艺流程以及结果,并介绍了碳纳米管的掺杂以及相关集成的研究进展.

关键词：碳纳米管、场效应、晶体管、集成、掺杂

所属期刊栏目：10

分类号：TN386(半导体技术)

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：273-278