转动竖直镜面的微机械光开关

摘要：

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧.芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB.

关键词：MEMS光开关、(110)硅各向异性腐蚀、深反应离子刻蚀

所属期刊栏目：10

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033104

在线出版日期：2004-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58