微型夹钳的最新研究

摘要：

微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用.本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,概括了研究特点及发展趋势.

关键词：微型夹钳、微装配、微机电系统、微系统技术

所属期刊栏目：10

分类号：TH703.8;TP24(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA404460

在线出版日期：2004-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8