芯片实验室的制备技术

摘要：

阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展.系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等.流体驱动是芯片实验室的动力,对多种新颖的流体驱动设计进行了对比,这些设计包括压力驱动、电渗驱动、电水力驱动、表面张力驱动、离心力驱动等.

关键词：芯片实验室、微全分析系统、PCR芯片、毛细管电泳芯片

所属期刊栏目：9

分类号：TP274+.2(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院特别支持项目STZ-00-03;中国科学院知识创新工程项目KSCX-06

在线出版日期：2004-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：493-498