厚膜永磁阵列微致动器的磁路研究

摘要：

研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布,并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响.结果表明,厚膜永磁阵列单元高宽比和磁体单元间隔对微致动器电磁力影响较大,磁体单元高宽比为0.7是一个比较合适的尺寸.

关键词：永磁阵列、磁场分布、电磁力、微致动器

所属期刊栏目：9

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：四川省稀土材料及应用工程研究中心基金

在线出版日期：2004-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：453-456