红外热释电探测器的微图形化研究

摘要：

红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.

关键词：热释电探测器、光刻、剥离

所属期刊栏目：9

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613304;上海市学科建设项目

在线出版日期：2004-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：448-452