Au/Ti/W/Ti与n-GaAs欧姆接触的特性研究

摘要：

用磁控溅射系统和快速合金化法制备了Au/Ti/W/Ti多层金属和n-GaAs材料的欧姆接触,用传输线法对其比接触电阻进行了测试,并利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射图谱(XRD)对接触的微观结构进行了研究.结果表明该接触在700℃时比接触电阻为1.5×10-4Ω@cm2,快速合金化后呈现欧姆特性可能与接触界面处生成的TiAs相有关.

关键词：Au/Ti/W/Ti、砷化镓、欧姆接触

所属期刊栏目：9

分类号：TN305.93(半导体技术)

在线出版日期：2004-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：429-431