Fe3+对钛酸锶稀薄燃烧氧敏薄膜电阻的影响

摘要：

利用溶胶-凝胶的方法制备钛酸锶氧敏薄膜,掺杂不同含量的铁离子,并测试了不同氧分压、温度下薄膜的电阻.发现铁离子的含量在 20mol%～25mol%之间时,掺杂对钛酸锶电阻的降低有明显的影响,含铁在 20%和 25%的钛酸锶在 600～800℃之间电阻的变化趋近为零,铁的含量大于25%或小于 20%薄膜没有出现这种现象.

关键词：钛酸锶薄膜、铁掺杂、氧敏材料、电阻

所属期刊栏目：9

分类号：TN304.92(半导体技术)

在线出版日期：2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：323-326