复合光导层液晶光阀的研究

摘要：

介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的.经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向异性,其横向电导率小于纵向电导率.用这种薄膜制成的液晶光阀其分辨率达到500lp/inch.

关键词：液晶光阀、柱状结构、a-Si:H/nc-Si复合薄膜、光导层

所属期刊栏目：9

分类号：TN141.9(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金69776004,69890230;教育部重点基础研究项目

在线出版日期：2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：305-308