CHF3/C6H6等离子体中的基团分析

摘要：

在一个微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统中,测量了 CHF3、 C6H6及其混合气体放电的质谱和发射光谱图,分析了等离子体中主要基团的分布及其产生的途径,研究了放电功率和流量对主要基团密度的影响,以及它们与氟化非晶碳薄膜沉积速率和键结构之间的关联.结果表明,提高微波功率会增加 CHx、 CFx等成膜基团的密度,有利于加大沉积速率;而增加 CHF3的进气量则会加大 F原子基团的密度,这是由于它控制了薄膜的氟化程度.

关键词：电子回旋共振等离子体、氟化非晶碳薄膜、四极质谱、发射光谱

所属期刊栏目：9

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10175048;国家重点实验室基金

在线出版日期：2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：240-246