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10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.009

掩膜法制备薄膜电感

引用
采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数( Q值)在 100MHz- 10GHz范围的频谱特性.在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其 数值分别为 130 nH, 155nH;电阻在 6GHz以下也保持平稳,分别为 31Ω, 51Ω, 在这个频率以上,由 于高频趋肤效应而有一定的增大; Q值在 1- 6GHz之间在 20 以上, 并且在 6GHz附近分别达到最 大值 160和 110.在 100MHz- 10GHz范围内 ,这些电学参量的频谱特性符合实际应用的需要.

薄膜电感、栅极型、磁控溅射、品质因数

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TN405;TM55(微电子学、集成电路(IC))

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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功能材料与器件学报

1007-4252

31-1708/TB

9

2003,9(1)

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